例如,設備的真空度標為0.098MPa,實際上是-0.098MPa
其中:S為真空泵抽氣速率(L/s)
V為真空室容積(L)
t為達到要求真空度所需時間(s)
P1為初始壓強(Pa)
P2為要求壓強(Pa)