殘余氣體分析儀對(duì)真空性能的影響
發(fā)布時(shí)間：2019-03-07
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殘余氣體分析儀對(duì)真空性能的影響
- 在真空系統(tǒng)中,殘余氣體是影響真空工藝性能及真空器件壽命的重要因素。因?yàn)檎婵障到y(tǒng)中的殘余氣體及某些有害氣體,會(huì)破壞真空系統(tǒng)的性能,還可能會(huì)促發(fā)某些損壞真空室內(nèi)應(yīng)用器件的現(xiàn)象。在實(shí)際工作中,有時(shí)不但要降低真空器件中殘余氣體的量,更要控制殘余氣體的成份。本文對(duì)不同抽氣系統(tǒng)內(nèi)的殘余氣體進(jìn)行了分析,并對(duì)改進(jìn)超高真空系統(tǒng)的排氣手段和降低真空系統(tǒng)內(nèi)殘余氣體分壓力的抽氣方法進(jìn)行了較詳細(xì)的介紹和論述。
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