萊寶真空泵|為您奉上真空計(jì)算寶典

• 此計(jì)算軟件是由萊寶真空研發(fā)，面向客戶開放使用，模擬現(xiàn)有系統(tǒng)的抽空結(jié)果。
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  萊寶真空計(jì)算軟件使用指導(dǎo) 真空計(jì)算步驟 ：Layout(系統(tǒng)搭建)> Editor (計(jì)算條件設(shè)置)> Calculate （執(zhí)行計(jì)算）> Results（計(jì)算結(jié)果顯示）
• 一、Layout系統(tǒng)搭建
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• 系統(tǒng)搭建(Layout)是真空計(jì)算的基礎(chǔ)，真空系統(tǒng)包括真空腔體，管路和真空泵等，其中真空腔體和前級(jí)真空泵（BACKING PUMP）是必須選擇的，其他部件根據(jù)需要選擇。選擇部件可以通過添加鍵（ACTIVE）和刪除鍵(DEACTIVE)操作，系統(tǒng)搭建完成后就可以開始計(jì)算條件設(shè)置（Editor）步驟了。
• 二、Editor計(jì)算條件設(shè)置
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• Editor(計(jì)算條件設(shè)置)可以設(shè)置真空泵的供電頻率（注意：變頻器控制的真空泵的真空表現(xiàn)和供電頻率無關(guān)），管路長(zhǎng)度，直徑，真空腔體體積/內(nèi)表面積等條件。您可以通過點(diǎn)擊相關(guān)圖標(biāo)來操作，選中的圖標(biāo)會(huì)變成綠色。
• Chamber真空腔體設(shè)置
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• 點(diǎn)擊Chamber （真空腔體設(shè)置）可以設(shè)置初始?jí)簭?qiáng)（Start pressure）,目標(biāo)壓強(qiáng) (Target pressure),真空腔體體積（Chamber Volume），氣載（泄漏率或者工藝氣體量Leak/process flow）和表面釋氣率（Desorption rate）。
• 如果您不確定系統(tǒng)的泄漏率或表面釋氣率可以選擇點(diǎn)擊“Show typical leak rates”（ 推薦漏率）或“Show typical desorption rates”(推薦表面釋氣率)參考萊寶推薦的常用數(shù)據(jù)，推薦數(shù)據(jù)可能與實(shí)際情況有出入，僅供參考。
• Pipe管路設(shè)置
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• 點(diǎn)擊Pipe（管路設(shè)置）可以設(shè)定管路的直徑和長(zhǎng)度等參數(shù)。管路的體積也屬于被抽空間，對(duì)抽空的時(shí)間也有影響。管路的啟始?jí)簭?qiáng)（Start pressure）可以在管路設(shè)置里面設(shè)定，如果管路處于真空狀態(tài)就選擇Pipe is evacuated ，如果選Pipe is not evacuated 則表示管路的初始?jí)簭?qiáng)與腔體初始?jí)簭?qiáng)相同。
• Roots Booster羅茨泵設(shè)置
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• 羅茨泵的參數(shù)可以在這里設(shè)置，點(diǎn)擊泵的圖標(biāo)可以在羅茨泵列表里面選擇一個(gè)羅茨泵。羅茨泵的數(shù)量可以在Number of pumps 中設(shè)置。注意：如果選擇了多臺(tái)羅茨泵，要考慮前面管路的數(shù)量是否與羅茨泵的數(shù)量匹配，請(qǐng)根據(jù)實(shí)際系統(tǒng)的管路情況設(shè)置。
• 羅茨泵有標(biāo)準(zhǔn)電機(jī)和變頻電機(jī)兩種形式。對(duì)于標(biāo)準(zhǔn)電機(jī)羅茨泵，計(jì)算軟件會(huì)自動(dòng)選擇合適的切入壓強(qiáng)。對(duì)于變頻電機(jī)羅茨泵，計(jì)算軟件會(huì)在每個(gè)壓強(qiáng)點(diǎn)自動(dòng)選擇適合轉(zhuǎn)速，羅茨泵啟動(dòng)后羅茨泵會(huì)逐漸從初始轉(zhuǎn)速（Initial speed）加速到目標(biāo)轉(zhuǎn)速（Target speed），如果遇到高壓情況羅茨泵自動(dòng)減速避免過載。初始轉(zhuǎn)速選擇得過高，在抽空的開始階段能會(huì)看到壓強(qiáng)反彈，這是由于羅茨泵過載自動(dòng)減速造成的。
• Backing Pump前級(jí)泵設(shè)置
• 前級(jí)泵的參數(shù)可以在這里設(shè)置，點(diǎn)擊泵的圖標(biāo)可以在前級(jí)泵列表里面選擇一臺(tái)前級(jí)泵。前級(jí)泵有標(biāo)準(zhǔn)電機(jī)和變頻電機(jī)兩種形式。采用標(biāo)準(zhǔn)電機(jī)的前級(jí)泵的抽速與供電頻率相關(guān)，而采用變頻電機(jī)的前級(jí)泵的抽速與供電頻率無關(guān)。
• 三、Calculations執(zhí)行計(jì)算
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• 真空系統(tǒng)設(shè)置完成就可以按紅色的CALCULATE（執(zhí)行計(jì)算鍵），您會(huì)看到兩個(gè)選項(xiàng)
• Calculate speed curve（抽速曲線計(jì)算）
• 計(jì)算真空系統(tǒng)抽速曲線。
• Calculate pump down（抽空曲線計(jì)算）
• 計(jì)算系統(tǒng)的抽空曲線。
• 選擇上述兩個(gè)選項(xiàng)之一就可以執(zhí)行計(jì)算，計(jì)算結(jié)果會(huì)自動(dòng)添加到計(jì)算結(jié)果列表里面。您可以給計(jì)算結(jié)果命名并長(zhǎng)期保存，方便您對(duì)比不同設(shè)置的計(jì)算結(jié)果。只要在計(jì)算結(jié)果列表中雙擊計(jì)算結(jié)果的名稱就可以打開計(jì)算結(jié)果文件。
• 四、Results計(jì)算結(jié)果顯示
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• 抽空曲線計(jì)算結(jié)果顯示
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